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广州因特智能科技有限公司-高端制造AI视觉检测装备
产品类别:机器视觉
针对半导体和光通信行业,打造高速显微缺AOI测平台。具备三项核心技术:
1、光学成像技术(核心部件全国产化)
最小检出缺陷0.18μm,测量精度达到亚纳米级,另外集成线光谱共聚焦模组、白光干涉模组、深紫外线光源、原子力显微镜应用满足行业2D、2.5D和3D检测测量需求,微观检测成像综合应用和精度行业第一梯队。
2、DD+DB+Starline增强算法
借助AI数据积累实现品质追溯,反哺前端工艺。通过将末端检测数据与前端工艺参数进行多维关联,系统能够精准定位诱发缺陷的深层根因。
3、高精密运控平台
高精密大理石平台+气浮检测运控平台:自主设计高精度传动控制导轨+确保机台定位精度反馈算法补偿控制

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