LQ-LGBS-30 超快激光键合设备
产品类别:激光工程
LQ-LGBS-30是一款由苏州猎奇自主研发的超快激光键合设备。主要针对玻璃+玻璃、硅及碳化硅等半导体陶瓷材料、殷瓦钢及铜等金属材料的键合封装应用。系统采用红外飞秒激光器,通过对激光扩束和聚焦,在两种材料界面上形成极小的光斑,利用飞秒激光高能量密度和超短脉冲的特性,使材料界面产生“非线性吸收”效应,从而将激光焦点周围的界面材料迅速熔化再凝固,从而达到两层材料键合在一起的效果。设备具备自动焦点跟随功能,键合过程中自动捕捉焦点位置,消除因材料厚度误差、翘曲等因素带来的键合不良。可满足医疗、MEMS、3C、光学器件、真空玻璃等多个领域的精密玻璃封装需求。超快激光直接键合无需中间过渡层,可靠性极高。